产品介绍
产品概述
全自动显微检测仪,由高精度控制系统和影像检测系统构成,运动控制采用进口伺服电机配合研磨级滚珠丝杆和高分辨率Renishaw光栅尺 ,具有定位精度高,噪音小等特点,影像系统采用高分辨率相机,自动变焦镜头,配合多角度环形灯源及LED轮廓光,可对产品的尺寸测量、外观缺陷检测、样本观察及过程监控等具有检测效率高,兼容性好,扩展性强等特点,可根据客户需求添加激光,探针,物镜等配件。
产品特征
1、测量系统:高清彩色CCD/高帧率影像采集卡
2、驱动马达:三轴均采用进口伺服马达驱动。
3、机台移动控制方式:鼠标及摇杆控制。
4、光栅尺:英国Renishaw开放式0.0005mm分辨率。
5、工作台及立柱:高精度花岗岩。
6、驱动丝杆:研磨级滚珠丝杆,精度高,噪音小。
7、软件: SYH-Smart-v1.0 可选配:0.5x-10x物镜、激光、探针。
适用行业
航空、航天、军工、汽车、新能源、光伏、食品、集成电路、精密电子、精密机械、模具、PCB、LCD、五金、 塑胶、医疗、教育,计量及科研院所等。
产品参数
类别 | 型号 | |
DF-322 | TF-431 | |
有效行程 | 300*200*200mm | 400*300*100mm |
外形尺寸 | 950*760*1680mm | 900*920*1500mm |
设备重量 | 220kg | 280kg |
工作台承重 | 30kg | |
镜头 | 同轴光自动变倍镜头 | |
光学尺分辨率 | 1um | |
单次检测视野 | 10mm*10mm~1mm*1mm | |
视觉分辨率 | 100万~2000万 | |
测量精度 | 物理精度最高可达0.5um | |
测量系统 | 高清彩色CCD | |
放大倍率 | 影像放大倍率:28X-180X | |
驱动马达 | 采用进口伺服马达 | |
最大移动速度 | X/Y:300mm/sZ:100mm/s | |
工作台及立柱 | 高精度花岗岩 | |
驱动丝杆 | HI WIN研磨丝杆 | |
光源 | 轮廓光、表面光-40相灯 | |
软件 | SY H-Smart-V 1.0 | |
工作环境 | 温度:22℃±2℃湿度:30~80% | |
电源 | AC110V-220V-50/60Hz | |
可选配件 | 0.5X、2X、5X、10X物镜、探针、点线激光等 |
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